1.真空度測(cè)量范圍: 9.999×10-1~1×10-5
2.離子電流測(cè)量范圍: 9.999×10-1~1×10-7
3.測(cè)量誤差: <10%
4.測(cè)量分辨率: 10-5pa
5.允許環(huán)境溫度: -20℃~50℃
6.空氣濕度: ≤80%RH
7.電源: AC,220V,50Hz±10%
8.外型尺寸: 420×290×210(mm)
9.高壓輸出: 脈沖30kV15kHz
⒑重量: 8kg